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多晶矽鑄錠爐,提純爐:該裝備主要用於(yu) 多晶矽定向凝固(多晶矽鑄錠)實驗及製造,也可以用於(yu) 其他半導體(ti) 材料提純。同時可適用於(yu) 高純鋁提純用。
該裝備可實現熔煉過程在線進行多種物料加料工藝,並可進行物料燒結時驟冷實驗。
主要技術參數
熔煉容量:5-30KG
電源功率:50-100KW
升溫速率:40℃/Min
爐溫均勻性:±5℃
極限真空度:6.67×10-3Pa