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多晶矽鑄錠爐,提純爐

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多晶矽鑄錠爐,提純爐

  • 詳細介紹

多晶矽鑄錠爐,提純爐:該裝備主要用於(yu) 多晶矽定向凝固(多晶矽鑄錠)實驗及製造,也可以用於(yu) 其他半導體(ti) 材料提純。同時可適用於(yu) 高純鋁提純用。

  該裝備可實現熔煉過程在線進行多種物料加料工藝,並可進行物料燒結時驟冷實驗。

主要技術參數

  熔煉容量:5-30KG

  電源功率:50-100KW

  升溫速率:40℃/Min

  爐溫均勻性:±5℃

  極限真空度:6.67×10-3Pa

多晶矽鑄錠爐,提純爐


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