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真空燒結爐主要用於(yu) 半導體(ti) 元器件及電力整流器件的燒結工藝,可進行真空燒結,氣體(ti) 保護燒結及常規燒結,是半導體(ti) 專(zhuan) 用設備係列中一種新穎的工藝裝備,它設計構思新穎,操作方便,結構緊湊,在一台設備上可完成多個(ge) 工藝流程。亦可用於(yu) 其他領域內(nei) 的真空熱處理,真空釺焊等工藝。
特別提醒:
1、由於(yu) 模具一般由用戶自備,模具材料基本上選用高純石墨,其耐壓極限為(wei) 40MPa,建議用戶使用在30MPa以下比較安全,加壓前應計算模具上、下衝(chong) 頭的麵積,再換算成壓力,具體(ti) 公式如下:
係統允許加壓(噸)=上或下衝(chong) 頭麵積×30MPa
如預先不計算盲目加壓導致模具、壓塊、發熱體(ti) 、保溫屏等石墨製品損壞,本公司概不負責。
2、熱電偶為(wei) 鎢錸型,使用過會(hui) 發脆,不能接觸。如損壞應及時更換。其型號是W2型。
3、冬天應注意循環水的保暖問題,否則易發生水管爆裂。
4、使用後爐體(ti) 應保持真空,因爐內(nei) 保溫層易受潮,保真空這樣下次抽真空會(hui) 快些。
5、因設備較複雜,建議專(zhuan) 人使用,專(zhuan) 人負責,對新手嚴(yan) 格實行用前培訓,用後檢查,操作使用要有記錄等設備使用規定。